研究級在線氣體分析質譜儀
Research Grade System for Continuous Sampling Gas/Vapour Analysis
儀器介紹
HPR20-QIC 精密氣體分析系統（Research Grade System for Continuous Sampling Gas/Vapour Analysis）是一臺完備的臺式氣體分析系統，用于監測氣體和過程分析，便于生產、研究使用。
應用：
· 過程監測
· 在線分析
· 污染物研究
· CVD / MOCVD
· 環境氣體分析
· 熱分析質譜
· 催化劑研究/ 反應動力學
主要特點
· 、柔韌、加熱(直到200℃)石英惰性毛細管（QIC)
· QIC 直接進樣，對氣體、蒸氣的響應時間 <500ms
· 1～20 cm3 / min連續進樣
· 取樣壓力：10 mbar ～ 2 bar
· 高壓取樣接口至30 Bar
· 自動流量控制界面，以恒定離子源壓力
· 液氮低溫板，增強對可凝結的背景氣體的抽吸
· 靈敏度高 (至 5 ppb), 質量數至510 amu
· 軟離子化技術，分析復雜有機物
· 穩定性(24h以上，峰高變化小于±0.5% )
· 通過RS232、RS485或以太網，軟件 MASsoft 控制
· 定量分析方法
