IG20 離子槍

    Hiden IG20 離子槍（Ion Gun），先進的離子槍，配合SIMS進行材料表面和深度的分析。

應用：

    · 靜態、動態SIMS
    · 俄歇電子譜
    · 離子束濺射
    · 表面科學研究
    · 光柵/ 深度分析

特點：

    · 具有100μm光斑直徑的、0.5～5 keV能量的強離子束
    · 高電流密度4.5 mA/cm²
    · 電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
    · 掃描線散射和離子束光柵的光學調整功能，用于深度分析
    · 離子槍的3°偏移量，用于中性粒子的排斥
    · 在光柵應用中，束消隱裝置可以快速進行束的轉換
    · 差式泵源減少室內氣體
    · 便于更換的燈絲
    · 掃描速度可低至64μs
    · 與SIM 和EQS 探針一起，可以直接進行光柵速率/區域控制