二次離子質譜工作站

    Hiden SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，綜合UHV / SIMS 設備，進行的表面分析?？煽康?、普遍適用的SIMS分析工作站。

應用：

    · 各類型樣品的快速轉向
    · 靜態、動態SIMS
    · 整合的離子源，便于RGA和SNMS
    · 表面改性/ 光柵研究
    · SIMS 表面繪圖/ 成像
    · 表面污染物分析


特點：

    · Hiden EQS SIMS 分析儀，運行于 MASsoft O/S 之下，檢測至 ppb
    · 陰、陽離子、中性粒子、自由基的質量、能量分析儀
    · 基本的激發源選擇：帶差式泵的Hiden IG20 Ion, IFG200 FAB 或
         高性能液態鎵槍
    · 整合的離子槍光柵控制和信號選通，進行深度分析
    · 絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
    · 液氮冷井和真空室烘烤加熱器
    · 快速樣品傳遞，樣品固定，負載鎖定的操縱器
    · 4 軸：X, Y, Z, θ UHV 操縱器，以定位樣品
    · 加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進行SIMS元素成像
    · 靜態SIMS譜圖庫可用
    · 自動的SIMS 離子光學透鏡調諧和質量數列表，使SIMS性能