HAL 3F 三級過濾四極質譜儀

    Hiden HAL 3F 三級過濾四極質譜儀(Triple Filter Quadrupole Mass Spectrometers)用于精密氣體分析和研究應用。

應用：

    · 表面科學
    · 分子束研究
    · UHV TPD
    · 高性能的殘余氣體分析
    · 泄漏檢測、實質泄漏分析
    · 脫附、除氣研究和烘烤周期
    · 反應室或過程氣體污染


特點：

    · 靈敏度高，檢測范圍從 至 5ppb.
    · 質量數可達2500 amu，帶自動質量數范圍列表
    · 長期穩定性，24h以上，峰高變化小于±0.5%
    · 離子源控制用于軟離子化和表觀電勢質譜
    · 靈敏度增強有利于質量數較大離子傳送
    · 6、9、12 mm 直徑的四極桿可選.
    · 多種離子源配置供選擇
    · 在一級濾過處增加射頻，抗污染物
    · 升溫脫附實驗時，溫度同步顯示
    · 脈沖離子記數器，可檢測連續7個數量級的動態范圍
    · 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網控制。