HPR80 活潑性、 腐蝕性氣體分析儀

         HPR-80 (Quantitative Gas Analyser for Reactive/Corrosive Species)是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導體、真空過程研究而設計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體混合物。

應用：

    · 等離子體/反應性離子蝕刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 半導體晶片加工研究
    · 真空、等離子體過程
    · 活性物質定量分析
    · HF，HCl，HBr，CFC 研究

特點：

    · 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結器
    · 可清除的，帶粘性流QIC校正的進樣口用于定量分析
    · 高靈敏度至 5 ppb, 質量數可選至 2500 amu
    · 進樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
    · 電容壓力計，壓力檢測可不受分析物影響
    · 穩定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
    · 軟件 MASsoft 控制
    · 矩陣反演，歸一化及單峰參考