HMT100 高壓殘余氣體分析儀

         HMT 100-RC 高壓殘余氣體分析儀(High Pressure Residual Gas Analyser)配備了精密的四極質譜儀，獨特的雙重模式RGA系統，檢測已有的或生產過程中形成的氣體。針對真空診斷以及過程監測。

應用：

    · 殘余氣體或泄漏檢測
    · 實質泄漏或脫附分析
    · 除氣研究
    · 烘烤周期
    · 泵效能
    · 腔室/過程氣體污染物

特點：

    · HMT型適用于高壓4x10^-3 Torr操作（小壓力4x10^-8 Torr）
    · 在P < 10^-4 Torr時具有高靈敏度的RGA操作模式，小壓力1x10^-11 Torr
    · 質量數100amu，軟件操作。
    · 穩定性好(24h之上，高度變化小于±1% )
    · MASsoft軟件控制，或由局域網進行多個系統控制
    · 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
    · 混合模式掃描，多個窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰等
    · 同步顯示數據圖，列表
    · 同步背景扣除，自動質量數列表
    · 數據輸出為ASCII格式，至windows設備
    · 即時動態數據交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如 Excel等