摘要：本實用新型提供了一種雙路射頻電源的調整裝置，所述調整裝置包括：幅值檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感分別連接耦合電容，將電壓幅值轉換為電流信號，再將電流信號轉換為電壓信號，從而獲知電壓幅值，之后兩路電壓幅值送差分放大器，幅值差值傳送到調整模塊；相位檢測模塊，所述雙路射頻電源的電感側部分別設置天線，天線獲得的相位信號分別傳送到鑒相器，相位差傳送到所述調整模塊；調整模塊，所述調整模塊用于根據接收到的所述幅值差值和相位差值調整所述雙路射頻電源。本實用新型具有精度高、響應快等優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人聚光科技（杭州）股份有限公司;杭州譜育科技發展有限公司;
- 發明人張建;韓雙來;鄧豐濤;
- 地址310052 浙江省杭州市濱江區濱安路760號
- 申請號CN201520011085.3
- 申請時間2015年01月08日
- 申請公布號CN204462919U
- 申請公布時間2015年07月08日
- 分類號G05F1/56(2006.01)I;
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