摘要：本實用新型公開了一種風機過濾單元，安裝在半導體立式爐設備的側壁上，包括：殼體,所述殼體為長方體空心結構，殼體的正面開設有出風口；第一過濾器,所述第一過濾器固定安裝在殼體的出風口處；空腔,所述第一過濾器與所述殼體之間設有供氣流通過的空腔；所述殼體的底部設有凸出的離心風機安裝位，所述離心風機安裝在離心風機安裝位上，殼體底部設有進氣口，所述進氣口將半導體立式爐設備內的氣流吸入，經過離心風機并排送氣體至空腔，經第一過濾器過濾后，提供氣流至半導體立式爐設備內部。本實用新型提供的風機過濾單元結構簡單，占用空間小，充分的利用半導體立式爐設備中的空間，為微環境提供穩定的、高潔凈度的、均勻的水平氣流。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人宋新豐;王麗榮;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201420013528.8
- 申請時間2014年01月09日
- 申請公布號CN203641130U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號F04D29/70(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I;F04D29/42(2006.01)I;
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