摘要：本實用新型涉及硅片濕法處理領域，具體公開了一種過濾裝置，其包括進液口接頭、進液口接頭連接件、過濾件、排液口接頭連接件和排液口接頭，進液口接頭的一端外接工藝腔排液口，其另一端連接進液口接頭連接件，所述進液口接頭連接件與所述排液口接頭連接件連接，排液口接頭的一端連接排液口接頭連接件，其另一端外接切換閥，過濾件設置在進液口接頭連接件和排液口接頭連接件之間。本實用新型通過過濾件將碎屑過濾掉，從而減少了碎屑對閥體的損害，在碎片后做維修時，只需對過濾裝置進行維修、清理或更換，而不需要對過濾裝置之后的閥做維修，這樣降低了維修時間和維修成本，提高了閥的使用壽命。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人王波雷;張豹;賈星杰;高浩;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201220602640.6
- 申請時間2012年11月14日
- 申請公布號CN203002085U
- 申請公布時間2013年06月19日
- 分類號B01D35/02(2006.01)I;B01D29/03(2006.01)I;
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