摘要:本實用新型涉及半導體設備中的安全門技術領域,公開了一種安全門,包括門、安全門鎖(2)和機械門鎖,所述安全門鎖(2)安裝在所述門內側上,所述機械門鎖安裝在所述門外側上。本實用新型通過在微環境門內、外側同時設置門鎖設計了一種安全門,其結構簡單,尤其適用于半導體設備中,能夠保證在微環境內工作的安全性。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人王麗榮;董金衛;鐘華;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201120457801.2
- 申請時間2011年11月17日
- 申請公布號CN202370384U
- 申請公布時間2012年08月08日
- 分類號E06B5/10(2006.01)I;E05B15/00(2006.01)I;