摘要：本實用新型涉及一種干法硅片自動分離機構包括支架、支桿、風刀體、噴嘴體、密封圈、螺母、噴頭、噴頭環；所述噴嘴體、支桿分別旋入風刀體上，密封圈裝入噴嘴體凹孔內，所述風刀體上設置有兩個噴頭，噴頭環裝在噴頭上，通過螺母固定噴頭，且安裝在支架上，用兩個螺紋孔固定。所述風刀體上設置有兩個噴頭，噴頭底部為球形，可以自由調節所需的噴射角度。所述風刀體上設有孔。所述支架上設置有兩個螺紋孔。所述噴頭上的壓縮空氣噴出口為一字型槽口。本實用新型結構簡單、緊湊，合理；通過噴頭、噴頭環來控制壓縮空氣的噴射方向、形狀、范圍從而使硅片很好的分離，并且穩定的懸浮在空中。
- 專利類型實用新型
- 申請人無錫市南亞科技有限公司;
- 發明人顧韻;凌峰;凌兆貴;
- 地址214024 江蘇省無錫市南長區揚名高新技術產業園B區107號
- 申請號CN201120379086.5
- 申請時間2011年09月30日
- 申請公布號CN202231049U
- 申請公布時間2012年05月23日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;
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