摘要：濕法硅片自動插片機的送片槽板，包括底板，分別安裝在底板上的左側板以及右側板，底板上設置導流條，每個導流條分別開有一條凹槽，凹槽頭部與導流條之間設置過渡面，凹槽尾部與導流條尾部平齊，凹槽按長度的不同至少可以劃分為三組，每組的凹槽數量至少為三組，凹槽與導流條之間的過渡面為圓弧。所述凹槽及圓弧過渡面能使水流運動產生浮點，避免硅片吸附在送片槽板上，使得硅片能快速平穩的滑入硅片盒內。
- 專利類型實用新型
- 申請人無錫市南亞科技有限公司;
- 發明人凌兆貴;顧韻;
- 地址214024 江蘇省無錫市揚名高新技術產業園B區107號
- 申請號CN200920187713.8
- 申請時間2009年09月18日
- 申請公布號CN201508849U
- 申請公布時間2010年06月16日
- 分類號H01L31/18(2006.01)I;B65G51/01(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;B65B5/00(2006.01)I;B65B35/10(2006.01)I;
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