摘要：本發明公開了一種透明導電膜的制備方法，包括以下步驟：(1)在透明基板上用有機材料形成圖案；(2)開啟氣相沉積源，在該基板上以物理氣相沉積方式沉積一層透明導電膜；(3)開啟氣相沉積源，在透明導電膜上以物理氣相沉積方式沉積一層透明保護膜；(4)將該基板上的有機材料以及其上的透明導電膜和透明保護膜去除。本發明在制備透明導電膜之后隨即沉積一層保護膜，因此在沉積保護膜之前透明導電膜并未暴露于空氣而氧化。保護膜不僅能較好的防止或減緩透明導電膜的氧化，同時因其具有較高的硬度而具有防劃功能、具有較低的折射率而具有減反功能。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京東方新材科技有限公司;
- 發明人張云龍;徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀區上地信息產業基地三街九號金隅大廈C座1112室
- 申請號CN200810119982.0
- 申請時間2008年10月21日
- 申請公布號CN101430944A
- 申請公布時間2009年05月13日
- 分類號H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;
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