摘要：本發明屬于白光干涉測厚領域，并公開了共焦白光偏振干涉的多層透明介質厚度測量裝置和方法。包括被測物、第三透鏡、第二透鏡、第二小孔構成共焦結構，平行白光經第二棱鏡后，一束作為測量光束經第三透鏡匯聚到被測表面，另一束作為參考光束經過多次反射后與從被測表面反射回來的測量光束發生干涉，在第二棱鏡和第二透鏡之間設置提高干涉條紋的對比度的可旋轉偏振片，實現在第一圖像傳感器上形成高對比度干涉條紋。本發明還公開了利用上述裝置進行測量的方法。通過本發明，采用參考光束和測量光束在橫向微小的偏離量，同時利用共焦和白光干涉技術，簡單快速地形成了有限寬度的白光干涉條紋，從而實現了多層透明介質厚度的測量。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人趙斌;徐婭;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201610956898.9
- 申請時間2016年10月27日
- 申請公布號CN106546178A
- 申請公布時間2017年03月29日
- 分類號G01B11/06(2006.01)I;
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