摘要：本發明涉及激光加工技術領域，公開了一種雙焦點激光微加工裝置及其加工方法。加工裝置包括激光器、第一45度反射鏡、第一半波片、第三45度反射鏡和聚焦鏡，設于第一半波片的輸出光路上用于將激光光束分割為水平偏振光束P和垂直偏振光束S的第一偏振片，分別設于水平偏振光路和垂直偏振光路上的水平光路裝置和垂直光路裝置，設于水平光路裝置輸出端和垂直光路裝置輸出端的第二偏振片，水平偏振光束P依次經水平偏振光路、第二偏振片、第三45度反射鏡和聚焦鏡后于被加工物上形成第一焦點，垂直偏振光束S依次經垂直偏振光路、第二偏振片、第三45度反射鏡和聚焦鏡后于被加工物上形成第二焦點。本發明具有加工效率高、效果佳的優點。
- 專利類型發明專利
- 申請人大族激光科技產業集團股份有限公司;
- 發明人王焱華;莊昌輝;陳紅;陳治賢;唐建剛;尹建剛;高云峰;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區高新技術園北區新西路9號
- 申請號CN201410284055.X
- 申請時間2014年06月23日
- 申請公布號CN105171235A
- 申請公布時間2015年12月23日
- 分類號B23K26/064(2014.01)I;B23K26/067(2006.01)I;B23K26/50(2014.01)I;
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