摘要：本發明公開了一種半導體取放設備耐久性的檢測方法，包括取放設備執行硅片盒以及硅片的取放動作，檢測系統的控制單元驅動數據采集單元采集第一伸縮傳感器、第一旋轉傳感器、第二伸縮傳感器、第二旋轉傳感器、第一位置傳感器以及第二位置傳感器中部分或所有的檢測數據；控制單元驅動數據采集單元將檢測數據發送給數據分析單元；數據分析單元通過各取放動作的檢測數據，對取放設備的耐久性進行分析。本發明可以實現半導體取放設備中選定或所有相關運動機構或模塊在一次耐久性檢測中全部參與進行測試，省時省力，也提高了檢測的精確性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人賈軼群;劉建濤;鐘結實;張立超;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410200310.8
- 申請時間2014年05月13日
- 申請公布號CN103983468B
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號G01M99/00(2011.01)I;
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