摘要：本發明公開了一種LPCVD設備的溫控系統自校正方法，包括：對LPCVD設備各個溫控區建立包含時滯誤差的PID控制模型；建立包含權重系數的比例，積分，微分控制項的自校正調節項模型，并確定已建立的權重系數取值范圍；建立監督控制項，用于加強控制系統的穩定性。同時，本發明也公開了一種LPCVD設備的溫控系統自校正裝置，包括：控制模型模塊，用于建立LPCVD設備各個溫控區的包含時滯誤差的PID控制模型；權重PID控制模型模塊，用于建立包含權重系數的比例，積分，微分控制項模型，并確定已建立的權值系數取值范圍；監督模塊，用于加強系統的穩定性。通過此種設計，提高了PID控制模型參數設置的準確性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人王峰;張乾;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201310504946.7
- 申請時間2013年10月23日
- 申請公布號CN103576672A
- 申請公布時間2014年02月12日
- 分類號G05B23/02(2006.01)I;G05B13/04(2006.01)I;
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