摘要：一種預對準機的標定方法，一機械手將一晶圓放置在一預對準機上；所述機械手和預對準機坐標系相對方向的確定，包括步驟：機械手將晶圓放置在預對準機上，晶圓的圓心處于預對準機所在的一第一坐標系中的一第一位置點；預對準機識別第一位置點在第一坐標系中的坐標；機械手驅使晶圓沿機械手所在的一第二坐標系的橫軸方向移動一距離，晶圓的圓心到達一第二位置點；預對準機識別出第二位置點在第一坐標系中的坐標；計算第一位置點與第二位置點的連線與第一坐標系的橫軸之間的夾角，即為第一坐標系與第二坐標系的相對方向；所述機械手調整晶圓位置，對晶圓進行預對準。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人曲道奎;徐方;張鵬;溫燕修;李學威;孫義田;鄭鋆;王魯非;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201210002104.7
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199022B
- 申請公布時間2015年05月13日
- 分類號H01L21/50(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;
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