摘要：本發明公開了一種防斷電保護的硅片清洗機，包括：工藝腔室和位于工藝腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常開N2管路和常閉N2管路，所述常開N2管路與常閉N2管路并聯設置，所述常開N2管路上設有常開波紋密封閥，所述常閉N2管路上設有常閉波紋密封閥。本發明提供的防斷電保護的硅片清洗機，采用雙通道互鎖并聯設計，當設備主電源發生斷電時候，兩個互鎖的波紋密封閥通過相反控制動作，使N2通路不會因為斷電而發生中斷，保證清洗機環境清潔。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張紹國;何金群;裴立坤;吳儀;王好肖;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201210348357.X
- 申請時間2012年09月18日
- 申請公布號CN102861745A
- 申請公布時間2013年01月09日
- 分類號B08B13/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;
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