摘要：本發明公開了一種半導體工藝配方生成方法及系統，該方法包括步驟：S1.根據不同腔室的特征，對工藝配方進行動態配置，生成配置文件，并進行配方參數的約束設置；S2.根據配置文件以及配方參數的約束設置，生成工藝配方文件。本發明的方法及系統利用半導體工藝過程中某些流程的相同相似性，可實現快速生成以及檢驗配方。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人郭訓容;楊曉;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110106674.6
- 申請時間2011年04月27日
- 申請公布號CN102243670A
- 申請公布時間2011年11月16日
- 分類號G06F17/50(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
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