摘要：本發明涉及一種清洗藥液的前饋-串級溫度控制方法，屬于自動化控制技術領域。為了提高藥液溫度控制方法的抗擾動能力，該方法包括如下步驟：在藥液存儲槽底部位置設置第一溫度傳感器及前饋控制器，在加熱器的出口處設置第二溫度傳感器，在工藝清洗供液出口處設置第三溫度傳感器；控制加熱器對藥液存儲槽進行加熱，使存儲槽內藥液溫度達到目標溫度值；當藥液達到目標溫度值并穩定后，進行清洗藥液供給，同時控制加熱器加熱功率使供液溫度穩定保持為供液目標溫度值。該方法可以有效的克服因清洗藥液回收或者補液所引起的供液出口處的供液溫度的擾動；可以有效克服管道壓力變化等因素所引起的流量波動對加熱器出口處藥液溫度的影響。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人李春彥;李曼;韓雷剛;裴立坤;昝威;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110108494.1
- 申請時間2011年04月28日
- 申請公布號CN102147626A
- 申請公布時間2011年08月10日
- 分類號G05D23/20(2006.01)I;
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