摘要:本發明涉及一種磁懸浮分子泵的模糊控制方法包括:通過檢測裝置檢測分子泵實現靜態懸浮時的徑向磁軸承靜態電流信息、軸向磁軸承靜態電流信息,分子泵工作時的轉子位移偏差和轉子位移偏差變化率;根據徑向磁軸承靜態電流信息和軸向磁軸承靜態電流信息計算出磁懸浮分子泵安裝角α和徑向磁軸承重力因子;將分子泵安裝角α、徑向磁軸承重力因子、轉子位移偏差和轉子位移偏差變化率模糊化,查詢模糊控制規則經過模糊推理,并經過去模糊化后輸出控制徑向磁軸承偏置電流信息,控制軸向磁軸承偏置電流信息和控制PID參數信息,完成控制參數整定,從而保證其在任意位置安裝均能穩定工作。本發明還介紹了一種采用該模糊控制方法的模糊控制系統。
- 專利類型發明專利
- 申請人清華大學;北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人張剴;張小章;李奇志;鄒蒙;武涵;
- 地址100084 北京市海淀區清華園1號
- 申請號CN201010619897.8
- 申請時間2010年12月31日
- 申請公布號CN102072184B
- 申請公布時間2013年06月05日
- 分類號F04D27/00(2006.01)I;