摘要：本實用新型公開了一種石英晶片研磨在線測頻系統，包括電源模塊、MCU控制系統模塊、DDS模塊、射頻功率放大模塊、π網絡接口電路模塊、信號放大濾波模塊、射頻幅值檢測模塊和觸摸屏模塊。本實用新型用基于DDS技術的π網絡最大傳輸法檢測原理增強了系統的抗干擾性，解決現有ALC系統“在某些頻段發生測頻值跳變”的問題。本實用新型所有頻段采用統一的π網絡接口電路，解決現有ALC系統不同頻段需要更換探測頭的缺陷，降低射頻接頭頻繁插拔導致的電學故障風險，增強系統工作穩定性，能夠顯著提升晶片研磨質量和產品品質穩定性。硬件系統方案不僅能夠覆蓋目前晶片研磨生產所涉及的所有頻段，而且只需要通過算法參數上修改就能兼容石英晶片的所有切型。
- 專利類型實用新型
- 申請人浙江大學臺州研究院;
- 發明人郭彬;潘凌鋒;陳浙泊;陳一信;林斌;
- 地址318000 浙江省臺州市椒江區市府大道西段618號
- 申請號CN201620370210.4
- 申請時間2016年04月28日
- 申請公布號CN205720430U
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號G01R23/02(2006.01)I;
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