摘要：本實用新型公開了一種真空排氣臺，包括真空室，為中空長條型結構；在真空室上開設有多個第一開口和一個排氣口，多個第一開口和排氣口分別位于真空室的相對兩側壁；閥門，與真空室的排氣口連接，其中，真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等；多個尾管座，分別設置在多個第一開口處，尾管座使工件和真空室密封連接。本實用新型使真空室垂直于長方向上的截面面積與閥門的橫截面積相等，進而使真空室的流導等于抽真空裝置的流導，有效的解決了近端工件與遠端工件真空度存在差值的問題，使離閥門距離最遠的尾管座上的工件，其真空度也能達到超高真空，并且同一批工件的真空度都處于同一數量級。
- 專利類型實用新型
- 申請人成都西沃克真空科技有限公司;
- 發明人徐子明;傅紹英;向勇;劉雯;閆宗楷;
- 地址610200 四川省成都市雙流縣蛟龍工業港（雙流園區）東海路六段680號
- 申請號CN201620261574.9
- 申請時間2016年03月31日
- 申請公布號CN205714650U
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號F04B37/14(2006.01)I;
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