摘要：本實用新型公開了一種離子源組件的接氣裝置，包括：固定部，所述固定部設置于質譜儀真空腔體與離子源之間，離子源固定在所述固定部一側；所述固定部內設有與外部相通的通氣孔一；離子源靠近固定部處設有與通氣孔一對應連接的通氣孔二；氣管接頭二，所述氣管接頭二位于所述離子源外部，與所述通氣孔二連通；所述通氣孔一與所述通氣孔二之間設有密封件；氣管，位于所述離子源的進樣針組件頂端，與所述氣管接頭二連接。本實用新型的離子源組件的接氣裝置，離子源各組件的氣流輸入接口設置于真空腔體一側保持固定，離子源的打開與關閉不會對氣流輸入造成影響，避免了氣管隨著離子源開關而拉扯可能造成的風險，安全、可靠。
- 專利類型實用新型
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人張佶;潘翔;張軼鳴;戴麗;周立;
- 地址215347 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮中華園西路1888號天瑞產業園
- 申請號CN201520112666.6
- 申請時間2015年02月16日
- 申請公布號CN204391043U
- 申請公布時間2015年06月10日
- 分類號H01J49/10(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I;G01N30/72(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
