摘要：本發明公開了一種電子槍，屬于離子源領域，電子發射機構包括陰極燈絲、陽極對電極及陽極擋板電極，陰極燈絲安裝在陽極對電極的一側，陽極對電極的另一側與加速聚焦機構的一側絕緣連接，加速聚焦機構的另一側與偏轉機構的一側絕緣連接，陽極擋板電極位于偏轉機構的另一側；加速聚焦機構包括聚焦電極板及多個聚焦筒，偏轉機構包括調節所述電子束強度的上、下部偏轉電極板，各聚焦筒絕緣連接，連接后的一端與陽極對電極絕緣連接、且該端與聚焦電極板接觸，另一端分別與上、下部偏轉電極板絕緣連接；陽極對電極及聚焦電極板上均開有供電子束通過的孔。本發明可以調節電子束的束斑大小、位置及電子束強度，使電子束與中性粒子束的碰撞空間增大。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院大連化學物理研究所;
- 發明人雷鑫;江凌;趙志;張冰冰;楊學明;
- 地址116023 遼寧省大連市中山路457號
- 申請號CN201510144815.1
- 申請時間2015年03月30日
- 申請公布號CN106158572A
- 申請公布時間2016年11月23日
- 分類號H01J49/10(2006.01)I;
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