摘要:本實用新型公開了一種用于解析離子源進樣裝置的XY移動平臺,包括X移動平臺和Y移動平臺,X移動平臺安裝在所述Y移動平臺上,X移動平臺包括基座,滑動部件和軌道部件,滑動部件滑動安裝在所述軌道部件上,所述軌道部件安裝在所述基座上,所述X移動平臺上包括第一擋塊和第二擋塊;本實用新型通過XY移動平臺的運動推動舉靶頂靶機構使得蓋板上的凹槽與靶槽平臺形成封閉腔室并由真空系統抽真空,以形成過渡真空腔室,可以有效地使得樣品進行一個動態的樣品對于真空度的適應過程,操作更加靈活和便捷。
- 專利類型實用新型
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人應剛;徐鵬登;周立;
- 地址215347 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮中華園西路1888號天瑞產業園
- 申請號CN201620556931.4
- 申請時間2016年06月12日
- 申請公布號CN205810761U
- 申請公布時間2016年12月14日
- 分類號H01J49/04(2006.01)I;H01J49/16(2006.01)I;