摘要：本實用新型涉及一種用于干涉顯微鏡升級的白光干涉三維輪廓測量儀，包括防震平臺，所述防震平臺的上表面設有儀器主機、電子控制器和計算機，所述儀器主機包括6JA干涉顯微鏡、CCD攝像、全息衍射光柵計量裝置和支架座，支架座的上表面設有共基面運動X-Y工作臺，共基面運動X-Y工作臺上表面的左側設有全息衍射光柵計量裝置，共基面運動X-Y工作臺上表面的右側設有垂直位移驅動裝置，垂直位移驅動裝置的上表面設有垂直位移工作臺座，垂直位移工作臺座的正上方設有6JA干涉顯微鏡。本實用新型的有益效果為：能精確測量Rz為0.001-2.0μm的三維表面形貌特征，產品既有繼承性，又能滿足工程表面測量的發展要求，是一種理想的表面非接觸測量儀器。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州海茲思納米科技有限公司;
- 發明人羅先照;胡志強;
- 地址215000 江蘇省蘇州市蘇州工業園區星湖街218號生物納米園A4樓105
- 申請號CN200920175590.6
- 申請時間2009年08月24日
- 申請公布號CN201476761U
- 申請公布時間2010年05月19日
- 分類號G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;
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