摘要:本發明提供了一種激光干涉儀用的穩頻裝置,包括電路控制系統、激光器、導向光路、穩頻光路和激光輸出光路,其中,所述導向光路將所述激光器射出的光導向到所述穩頻光路,所述穩頻光路包括第一分光鏡、第二分光鏡和光電池。本發明還提供了一種激光干涉儀用的穩頻方法。本發明的有益效果是:通過穩頻分光的設計,使得激光器中用于穩頻的光所占比例非常少,使得穩頻部分的能量損失極小,極大的增加了用于工作的激光強度,并且第一分光鏡的角度和尺寸的設計可以大大減少雜散光對穩頻精度的影響;穩頻分光調節更為方便,結構簡單易行,并且結構緊湊,易于機械封裝;采用對稱的光學和電子設計,可以確保穩頻數據的精度和可靠性。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市中圖儀器股份有限公司;
- 發明人劉龍為;張和君;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區西麗學苑大道1001號智園B1棟2層
- 申請號CN201610854014.9
- 申請時間2016年09月27日
- 申請公布號CN106524897A
- 申請公布時間2017年03月22日
- 分類號G01B9/02(2006.01)I;H01S3/137(2006.01)I;