摘要：本發明公開了一種半導體設備工藝運行狀態的管理方法，包括：根據半導體工藝流程創建工藝運行狀態隊列、事件列表和轉換函數；根據上述工藝運行狀態隊列、事件列表和轉換函數生成二維狀態轉換表；對所述二維狀態轉換表逐行或逐列查詢，依次生成多個狀態源臨時管理文件，每一所述狀態源臨時管理文件記錄一個所述工藝運行狀態，其配置的一個所述轉換事件，以及所述工藝運行狀態經該轉換事件后的狀態結果；以及將全部所述狀態源臨時管理文件合并生成動態配置管理文件。本發明能夠解決特定工藝和異常處理等狀態轉換效率低下和邏輯復雜造成的成功率低的問題。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人周法福;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201610564980.7
- 申請時間2016年07月18日
- 申請公布號CN106125682A
- 申請公布時間2016年11月16日
- 分類號G05B19/418(2006.01)I;
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