摘要:本發明公開了半導體設備上下位機的通信系統及通信方法,其中所述下位機包括用于接收半導體設備的執行機構的狀態反饋信息的反饋狀態寄存器;用于對不同類型的狀態反饋信息配置優先級的優先級配置模塊;用于將所述狀態反饋信息發送至上位機的輸出模塊,其包括多組通信端口,每一組的通信端口與一種優先級對應;以及控制模塊,用于將狀態反饋信息分配至與其優先級相對應的一組通信端口,并通過該組的一個通信端口發送至所述上位機。本發明能夠避免重要的狀態反饋信息無法及時發送而丟失。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人王凱;周峰;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410072418.3
- 申請時間2014年02月28日
- 申請公布號CN103823444A
- 申請公布時間2014年05月28日
- 分類號G05B19/418(2006.01)I;H04L1/00(2006.01)I;