摘要：本發明提供一種用于激光干涉儀測量導軌直線度的光學系統，包括：探測光學組件、光學轉向鏡、可旋轉激光頭和外光路組件，光束通過所述探測光學組件實現雙通道的光學探測，所述光學轉向鏡用于實現光束的下移和轉向以適應所述探測光學組件的探測需求，所述可旋轉激光頭為設置于所述探測光學組件和外光路組件之間的可旋轉回光部件，所述外光路組件用于測量所述光學系統的外光路。本發明通過三維光學轉向鏡大大簡化了垂直方向直線度測量的設置和步驟，所述探測光學組件實現雙通道的光學探測，簡化了光學系統的光學元件，最大化的利用了光學元件，節約儀器設計的空間；同時，所述可旋轉激光頭的激光回光孔設計得更為合理，充分利用了現有的孔位。
- 專利類型發明專利
- 申請人深圳市中圖儀器科技有限公司;
- 發明人劉龍為;張和君;張珂;陳源;
- 地址518049 廣東省深圳市南山區西麗學苑大道1001號智園B1棟二層
- 申請號CN201610323294.0
- 申請時間2016年05月13日
- 申請公布號CN105841638A
- 申請公布時間2016年08月10日
- 分類號G01B11/27(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I;
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