摘要：本發明公開了一種微波微擾法測量濕度傳感器內壁水膜厚度的系統和方法，測量系統由信號處理及控制器、掃頻信號源、隔離器、功率分配器、環形器、微波測量諧振腔、諧振頻率掃描模塊、壓力計和溫度計組成；測量方法包括以下步驟：測量微波測量諧振腔在TE111模式下的諧振頻率；計算沒有水膜時，微波測量諧振腔在TE111模式下的諧振頻率；計算水膜引起的諧振頻率偏移；求解TE111模式下濕度傳感器內壁水膜厚度。本發明基于圓柱波導諧振腔TE111模式下工作，快速、準確測量濕度傳感器內壁水膜厚度，為消除水膜厚度對濕度測量結果帶來的測量誤差，提高濕度測量精度，提供了便利條件。
- 專利類型發明專利
- 申請人華北電力大學（保定）;
- 發明人張淑娥;楊再旺;宋文妙;
- 地址071003 河北省保定市永華北大街619號
- 申請號CN201610287250.7
- 申請時間2016年04月29日
- 申請公布號CN105716548A
- 申請公布時間2016年06月29日
- 分類號G01B15/02(2006.01)I;
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