摘要：本發明涉及真空泵技術領域，具體地說是一種用于多級真空泵的防沖擊結構和具有該結構的多級真空泵。一種用于多級真空泵的防沖擊結構，包括真空泵腔體、壓力控制閥門、排氣切換閥門及沖擊管路，其中真空泵腔體上設有腔體排氣口，所述沖擊管路的一端與所述腔體排氣口連通，另一端與多級真空泵的排氣管路連通，所述沖擊管路上設有壓力控制閥門和/或排氣切換閥門。所述多級真空泵的一級真空泵腔體和二級真空泵腔體上均設有所述防沖擊結構。本發明將經過壓縮的已經達到許用排氣壓力的工作介質直接排放到排氣口處，由于壓縮過程減少，可以減少由于腔體級別壓力差產生的反流，可以提高在低真空階段的抽速。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人王光玉;孔祥玲;張曉玉;雷震霖;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街1號
- 申請號CN201410629537.4
- 申請時間2014年11月10日
- 申請公布號CN105649986A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號F04C25/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;F04C29/00(2006.01)I;
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