摘要：本發明公開了一種提高金屬氧化物傳感器氣體敏感度的方法，該方法是在潔凈背景氣氛下，將金屬氧化物氣體傳感器在特定工作溫度(200-400℃)穩定，然后設定降溫速度為1-50℃/s范圍內的某一特定速度，程序降溫到特定低溫(室溫-200℃)，獲得傳感器的電阻隨溫度的變化曲線Rair-T，作為基底信號；檢測氣體氛圍下，以相同流程控制傳感器溫度，獲得傳感器的電阻隨溫度的變化曲線RGas-T，作為響應信號；將基底信號與響應信號相除，得到Rair/RGas-T的曲線，取該曲線上的最大值max(Rair/RGas)，作為對該氣體的敏感度。本發明在不改變金屬氧化物材料組分下，相比恒定工作溫度測試的方法大幅度提高了氣體傳感器的敏感活性，增大氣體敏感度，從而實現低濃度級別(ppb級)氣體的高精度檢測。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人張順平;雷濤;謝長生;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201510897491.9
- 申請時間2015年12月07日
- 申請公布號CN105510402A
- 申請公布時間2016年04月20日
- 分類號G01N27/12(2006.01)I;
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