摘要：本發明公開了一種TiO2薄膜光助氣敏元件及其制備方法和應用。將鈦酸異丙酯溶于乙醇中，在金叉指電極片上原位生長得到均勻致密的二氧化鈦薄膜氣敏元件。與常規的滴覆法相比，該方法制得的氣敏元件在紫外光作用下顯示出較佳的H2和丙酮氣體的響應性能，并表現出良好的穩定性和重復性。該方法簡單易行，在制備半導體光助氣敏傳感器方面具有較好的應用前景。
- 專利類型發明專利
- 申請人福州大學;
- 發明人戴文新;彭小英;陳旬;員汝勝;付賢智;
- 地址350002 福建省福州市鼓樓區工業路523號
- 申請號CN201510493459.4
- 申請時間2015年08月13日
- 申請公布號CN105136868A
- 申請公布時間2015年12月09日
- 分類號G01N27/12(2006.01)I;
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