摘要：本發明提供了一種減小激光束橫截面積的方法，在激光發射器與被照物體之間的光路中設置空間光調制器；所述激光發射器發出的入射激光束在空間光調制器上產生主光斑和副光斑；所述主光斑覆蓋到空間光調制器的N個相鄰的微單元上，只打開以主光斑圓心為中心n個微單元(n＝1,2,…,N)，其它N-n個微單元為關閉狀態，則出射激光束的橫截面積d＝D×(n/N)，其中D為主光斑的橫截面積。本發明還提供了一種激光顯微切割的方法和裝置。上述的一種減小激光束橫截面積的方法，通過人為操作和控制，使激光束的橫截面積在一定范圍內縮小。上述的一種激光顯微切割的方法和裝置，能夠實現切割線寬度小到微米甚至亞微米的激光切割。
- 專利類型發明專利
- 申請人華僑大學;麥克奧迪實業集團有限公司;寧波五維檢測科技有限公司;
- 發明人易定容;
- 地址362000 福建省泉州市豐澤區城東
- 申請號CN201510783316.7
- 申請時間2015年11月16日
- 申請公布號CN105353514A
- 申請公布時間2016年02月24日
- 分類號G02B27/09(2006.01)I;C12M1/42(2006.01)I;
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