摘要：一種渦旋干式真空泵，屬于容積式真空泵技術領域。在渦旋干式真空泵的渦旋定盤上設置有若干處輔助排氣閥，輔助排氣閥的分布方式為：以渦旋工作腔的最大基圓展開角處為起點，且展開角每減小2π就沿渦旋型線方向布置一個輔助排氣閥。本發明與現有技術相比，突破了現有渦旋干式真空泵在定壓比工作方式上的限制，在渦旋定盤上設置了輔助排氣閥，當入口壓力較高時，能夠及時通過輔助排氣閥排除渦旋工作腔內的一部分高壓氣體，使渦旋工作腔的壓力降到合理水平，在很大程度上避免了過壓縮現象的產生，從而減小渦旋體所受到的沖擊作用，使渦旋干式真空泵具有了工作平穩、振動小及節約能源的特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人巴德純;張英莉;岳向吉;陸艷君;王光玉;張振厚;
- 地址110819 遼寧省沈陽市和平區文化路3號巷11號
- 申請號CN201510330862.5
- 申請時間2015年06月15日
- 申請公布號CN104989641A
- 申請公布時間2015年10月21日
- 分類號F04C18/02(2006.01)I;F04C29/12(2006.01)I;
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