摘要：一種雙級渦旋干式真空泵，其第一渦旋工作腔的外圓周側與左渦旋定盤上的進氣口相通，在渦旋動盤內沿徑向設有氣流通道，數量至少為1個，氣流通道一端與第一渦旋工作腔的中心側相通，另一端與第二渦旋工作腔的外圓周側相通，第二渦旋工作腔的中心側與右渦旋定盤內的排氣通道及排氣口相通。渦旋動盤外圓周側與右渦旋定盤外圓周側之間通過波紋管密封連接，通過波紋管將第一渦旋工作腔外圓周側與第二渦旋工作腔外圓周側密封隔離。波紋管與渦旋動盤、右渦旋定盤之間通過法蘭或焊接連接。本發明突破了現有雙側渦旋干式真空泵在壓縮比和極限真空度的限制，通過兩個串聯渦旋工作腔的雙級連續壓縮，提高了真空泵的壓縮比和極限真空度。
- 專利類型發明專利
- 申請人東北大學;中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人岳向吉;巴德純;陸艷君;張英莉;劉坤;王光玉;張振厚;毛勵珩;
- 地址110819 遼寧省沈陽市和平區文化路3號巷11號
- 申請號CN201410804998.0
- 申請時間2014年12月19日
- 申請公布號CN104612968B
- 申請公布時間2016年09月28日
- 分類號F04C18/02(2006.01)I;F04C23/00(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;
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