摘要：本發明公開了一種自動化測量半導體電阻率及賽貝克系數的測試方法及系統，其中方法包括以下步驟：將待測樣品置于真空環境內，并對待測樣品的兩端進行加熱，并控制兩端的溫度差；間隔發送PID曲線，該PID曲線包括三個溫度點：初始溫度點，下一個待測溫度點和預設的最終測試溫度點；該PID曲線確定原則：溫度測試間隔???????????????????????????????????????????????![]()
T=By-Ay，Ay為初始溫度，By為下一個待測試溫度；根據該PID曲線采集待測樣品的與電阻率和賽貝克系數相關的物理量數據，直到PID曲線的下一個待測溫度達到預設的最終測試溫度；根據采集的物理量數據計算得到電阻率和賽貝克系數。
- 專利類型發明專利
- 申請人武漢嘉儀通科技有限公司;
- 發明人王愿兵;楊君友;姜慶輝;童浩;吳燕雄;連小康;蔡穎銳;王康;
- 地址430075 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來科技城起步區A5北4號樓11層
- 申請號CN201510075078.4
- 申請時間2015年02月12日
- 申請公布號CN104635058A
- 申請公布時間2015年05月20日
- 分類號G01R27/14(2006.01)I;G01N25/00(2006.01)I;
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