摘要：本發明公開了一種相變溫度測試系統，其結構為：加熱爐的蓋板上開有通光孔，加熱爐內設有爐腔，樣品架位于爐腔內，并位于通光孔的正下方，在通光孔的上方放置有激光器和光電探測器，光電探測器位于待測樣品對激光束的反射光路上。本發明可以增設信號放大采集電路、溫度控制傳感電路和數據處理器。通過該系統測試靈敏度較高，能測定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度；且可直接測量薄膜樣品的相變溫度，對樣品無損傷；通過不同升溫速率下的變溫測量還可獲得更多的材料熱力學參數。操作簡單，成本低廉，測試可靠度較高。
- 專利類型發明專利
- 申請人武漢嘉儀通科技有限公司;
- 發明人繆向水;童浩;程曉敏;
- 地址湖北省武漢市東湖新技術開發區高新大道999號
- 申請號CN200910273102.X
- 申請時間2009年12月08日
- 申請公布號CN101726506B
- 申請公布時間2016年03月02日
- 分類號G01N25/02(2006.01)I;G01N25/12(2006.01)I;
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