摘要：本發明公開了一種微型精確鍍膜系統，所述微型精確鍍膜系統包括反應腔系統、反應源系統和抽氣系統，上部分為反應腔系統，下部分為反應源系統，反應腔系統與反應源系統密封連接，抽氣系統與反應腔系統密封連接。本發明首次提出一種微型精確鍍膜系統的一體化設計，專門適用于研究性領域工具化使用，本裝置的優點是體積小不占空間，外觀尺寸只有350*350*400?mm，可直接放于桌面上；反應腔體實際空間小，且采用烘烤式加熱方式，溫場均勻，節約反應源用量；操作簡單，只需輸入沉積薄膜厚度，系統會自動匹配參數運行；相對于市面在售鍍膜系統，設備使用以及維護成本低。
- 專利類型發明專利
- 申請人無錫邁納德微納技術有限公司;
- 發明人左雪芹;梅永豐;徐濤;
- 地址214028 江蘇省無錫市新區長江南路35號空港產業園科技商務中心B棟603室
- 申請號CN201410202912.7
- 申請時間2014年05月15日
- 申請公布號CN103993295B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號C23C16/46(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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