摘要：一種對質譜儀進行真空度測量和控制的方法及設備。所述方法包括：獲取至少一個真空規管測得的腔體的真空度及真空規管內部識別電阻的端電壓；根據真空規管內部識別電阻的端電壓及真空規管測得的真空度確定該真空規管所測量的腔體的類型；根據各真空規管測得的真空度及所測量的腔體的類型控制質譜儀動作。根據本發明，能夠實時測量主要器件所在腔體的真空度并根據測量的腔體的真空度控制質譜儀動作以保護質譜儀的關鍵器件。
- 專利類型發明專利
- 申請人鋼研納克檢測技術有限公司;
- 發明人李明;李凱;王超剛;梁斌;何小意;唐興斌;姚君;呂海馬;
- 地址100081 北京市海淀區高粱橋斜街13號
- 申請號CN201410128779.5
- 申請時間2014年04月01日
- 申請公布號CN103884466A
- 申請公布時間2014年06月25日
- 分類號G01L21/00(2006.01)I;G05B19/04(2006.01)I;
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