摘要：本發明公開了一種基于光柵導模共振技術的生物芯片及其制備方法，它包括基底層（1），基底層（1）的上表面是鈦薄膜層（2），鈦薄膜層（2）的上表面是光柵波導層；制備方法包括步驟1、基底層鍍膜，在選取的基底層（1）上鍍上一層鈦薄膜層（2）；步驟2、清洗，將鍍膜后的基底座清洗干凈；步驟3、光柵加工，將步驟2清洗干凈的基底座加工成陣列的二氧化鈦和空氣的周期性光柵；步驟4、將步驟3加工好光柵的基底座清洗干凈；步驟5、將步驟4加工好光柵的基底座用化學方法鍍上低折射率有機物介質；解決了現有技術的生物芯片存在的體積大、成本高、構造復雜，不利用商業化普及或體積雖小、價格便宜，但是存在溫度補償缺點等問題。
- 專利類型發明專利
- 申請人貴州大學;
- 發明人白忠臣;肖偉;秦水介;張正平;
- 地址550025 貴州省貴陽市貴州大學花溪北校區科技處
- 申請號CN201310333429.8
- 申請時間2013年08月02日
- 申請公布號CN103424376B
- 申請公布時間2016年02月17日
- 分類號G01N21/41(2006.01)I;G01N33/577(2006.01)I;
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