摘要：本發明屬于使用光伏處理尾氣的技術領域，具體地說是一種光伏尾氣處理系統。包括依次連接的吸附燃燒單元和吸附水洗單元，所述吸附燃燒單元和吸附水洗單元均設有吸附層，干泵從真空室抽出的尾氣通過吸附燃燒單元和吸附水洗單元后排到大氣中，兩個吸附層防止水分逆流。本發明通過不同方式進行過濾，有效保證泵內氣體清潔，有效防止泵的損壞和真空室被污染。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人李良進;張寧;王光玉;張軍;郭麗娟;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街一號
- 申請號CN201210590833.9
- 申請時間2012年12月29日
- 申請公布號CN103055658B
- 申請公布時間2014年12月31日
- 分類號B01D53/04(2006.01)I;B01D53/18(2006.01)I;F23G7/06(2006.01)I;
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