摘要：本發明屬于利用放電來測試材料領域，具體提供了一種用于輝光放電濺射深度測量的雙激光器在線實時測量裝置及方法。本發明采用兩臺激光位移傳感器(A、B)和Grimm輝光放電光源(GDS)構成在線實時深度測量裝置，能夠在輝光放電光譜儀進行金屬樣品分析的同時，實時準確測得樣品的濺射深度測量曲線和準確的濺射深度測量結果，為傳統輝光深度分析方法中對深度估算不準確的問題提供有效解決方案。
- 專利類型發明專利
- 申請人鋼研納克檢測技術有限公司;
- 發明人李小佳;萬真真;王海舟;賈云海;余興;張勝坤;羅劍秋;
- 地址100081 北京市海淀區高梁橋斜街13號
- 申請號CN201110161110.2
- 申請時間2011年06月15日
- 申請公布號CN102829732B
- 申請公布時間2016年07月06日
- 分類號G01B11/22(2006.01)I;G01N21/67(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
