摘要：一種包邊大尺寸釹玻璃包邊剩余反射的檢測裝置及檢測方法，檢測裝置包括第一激光光源、光束整形透鏡組、分光鏡、第一全反鏡、光束定位系統、待測樣品、激光強度探測器、剩余反射探測器和數據處理系統，上述元部件的位置關系如下：沿第一激光光源的激光輸出方向依次是光束整形透鏡組和分光鏡，該分光鏡將入射光分為透射光和反射光，在該反射光方向是所述的激光強度探測器，在所述的透射光方向依次是所述的第一全反鏡、光束定位系統、待測樣品和剩余反射探測器，所述的激光強度探測器和剩余反射探測器的輸出端與所述的數據處理系統的輸入端相連。本發明可根據實際情況需要測定不同入射角度和不同位置的包邊剩余反射，測量精度高。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院上海光學精密機械研究所;上海大恒光學精密機械有限公司;
- 發明人李順光;李夏;陳偉;胡麗麗;
- 地址201800 上海市嘉定區800－211郵政信箱
- 申請號CN201210262289.5
- 申請時間2012年07月26日
- 申請公布號CN102768202B
- 申請公布時間2016年02月10日
- 分類號G01N21/55(2014.01)I;
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