摘要：本發明公開了一種碲鋅鎘與金屬界面的透射電子顯微鏡樣品制備方法，用于解決現有的在制備CdZnTe與金屬界面TEM樣品時極易發生樣品碎裂而導致廢品率高的技術問題。技術方案是對CdZnTe單晶體進行線切割、清洗、拋光后，進行化學腐蝕；在電阻蒸發鍍膜機中制備金屬電極；將樣品對粘后，在加熱臺上烘烤；然后沿粘接縫隙的法線方向進行磨拋減薄后進行雙面拋光，在其中一面粘接銅載網后，用手動研磨器減薄樣品，最后采用Gatan?691型離子減薄儀進行減薄直至樣品擊穿。由于采用多片粘接和手動研磨器以高標號的砂紙進行研磨拋光，經過減薄和拋光，從而在最大程度上降低在減薄過程中對界面區域造成的損傷，提高了樣品制備的成功率。樣品制備成功率由背景技術的30％～40％提高到60％～70％。
- 專利類型發明專利
- 申請人西北工業大學;
- 發明人傅莉;孫頡;聶中明;
- 地址710072 陜西省西安市友誼西路127號
- 申請號CN201210034447.1
- 申請時間2012年02月15日
- 申請公布號CN102539213B
- 申請公布時間2013年06月19日
- 分類號G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;
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