摘要：本發明公開了一種電感耦合等離子體電源輸出匹配電路，其包括一變壓器，所述變壓器的初級線圈與輸入信號連接，所述變壓器的次級線圈與第一可調節電容、第二可調節電容連接，第一可調節電容的另一端與工作線圈連接，第二可調節電容的另一端接地，所述第一可調節電容由第一電機調節，第二可調節電容由第二電機調節，所述第一電機、第二電機與一可檢測工作線圈傳輸效率的信號反饋單元連接。該電路可根據工作線圈的工作情況自動調節輸出匹配，使輸出功率能以最大的效率傳輸至輸出負載工作線圈上。
- 專利類型發明專利
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人應剛;張樹龍;沈鵬飛;
- 地址215300 江蘇省昆山市葦城南路1666號
- 申請號CN200910232136.4
- 申請時間2009年12月02日
- 申請公布號CN101718700A
- 申請公布時間2010年06月02日
- 分類號G01N21/73(2006.01)I;
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