摘要：本發明一種電感耦合等離子體光源的供氣系統，包括氣源、等離子氣供氣支路、輔助氣供氣支路和載氣供氣支路，所述氣源分別通過一質量流量控制器與所述離子氣供氣支路、輔助氣供氣支路、載氣供氣支路連接。在該方案中氣源與供氣支路之間通過質量流量控制器連接，質量流量控制器能夠接收來自于主控制器的模擬電壓信號，并根據該電壓的大小對輸出的流量進行控制，從而大大的提高了工作氣體流量的調節與控制的精度以及自動化程度。
- 專利類型發明專利
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發明人劉召貴;張樹龍;夏義峰;
- 地址215300 江蘇省昆山市葦城南路1666號
- 申請號CN200910232131.1
- 申請時間2009年12月02日
- 申請公布號CN101718699B
- 申請公布時間2012年06月13日
- 分類號G01N21/73(2006.01)I;
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